據(jù)資料顯示，來自新加坡一家微電子研究所a*star的團隊制作出一種小型的傳感器，這個團隊的主要目標是要制造出一種可植入的微型醫(yī)療設(shè)備，現(xiàn)這一目標還需要依靠廣泛的電路研究與測試。這種傳感器是將一個穩(wěn)定的膜片與易傳感的硅納米線結(jié)合在一起，從而使得mems壓力傳感器可以更穩(wěn)定耐用，以便于適用醫(yī)療器械。

從原則上來講，設(shè)計一個小型的壓力傳感器是很簡單的：一個壓力變形隔膜嵌入一個壓敏電阻器就可以了，這個壓敏電阻器必須要由硅納米線等會由壓力引起抗電阻性變化的材料制成。但是事實上卻會出現(xiàn)問題，包括電路設(shè)計和和脆弱的組件，如果任何地方出現(xiàn)差錯都將是商用傳感器的致命傷。

由于這個隔膜必須是將很小的壓力變化傳到到壓敏電阻器，同時還要抵抗變形和破損，所以，這個隔膜材料的選擇就顯得至關(guān)重要。于是羅和他的同事們想到了用二氧化硅來展現(xiàn)完美的壓力傳感性能。但二氧化硅雖有優(yōu)越的傳感性能，可是也不能戰(zhàn)勝易彎曲性這個弱點，因此，羅將解決方案改為用雙層的二氧化硅，同時將壓阻式的硅納米線放在兩者中間，頂層再加一層性能穩(wěn)定的氮化硅。

通過蝕刻氮化硅和變化厚度、調(diào)整硅納米線，他們團隊*終發(fā)現(xiàn)了*優(yōu)的組合。*后的傳感器成功地滿足了抵抗變形與機械損壞的同時仍然可以提供在壓力感應(yīng)下電輸出的線性變化，符合高精度醫(yī)療器械應(yīng)用的要求。